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  • 三維光學(xué)共聚焦顯微鏡

    多功能 3D/三維光學(xué)共聚焦顯微鏡( OPTELICS HYBRID+,三維表面輪廓儀/三維表面形貌儀 ),高度方向測(cè)量精度達(dá)0.05nm;系統(tǒng)整合了白光共聚焦+激光共聚焦技術(shù);以雙共聚焦光學(xué)系統(tǒng)為基礎(chǔ),集6項(xiàng)測(cè)試功能于一體,包括白光共聚焦、激光共聚焦、微分干涉測(cè)量、垂直白光干涉測(cè)量、相差干涉測(cè)量、反射分光膜厚測(cè)量等功能。

    更新時(shí)間:2025-05-09

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